Physikalisches Kolloquium: From German Future Award 2020 to industrial scale production: Challenges of the next generation EUV lithography lenses
Vortragende Person/Vortragende Personen:
Dr. rer. nat. Julian Kalb Production Architect, Zeiss SMT, Oberkochen
15:15
- 16:45
Uhr
P 603 Im Anschluss Getränke und Snacks